湿式蚀刻制程设备
PRODUCTS INFORMATION

8” WAFERx2cassette 复槽式自动传输WET BENCH

DEMO Video
1. 上货区(湿进/干进)
2. 氨水+双氧水+DIW,盐酸+双氧水+DIW,氢氟酸,盐酸,BOE
3. 快排清洗,溢流清洗
4. 旋干机
5. 下货区(干出)
6. 選項: 空气清净过滤装置
超音波,Megasonic 清洗
在线石英加热器
循环过滤装置
化学药液缓冲槽及加药补药装置
实时录像装置
SECS/GEM