8” WAFERx2cassette 复槽式自动传输WET BENCH

湿式蚀刻制程设备

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1. 上货区(湿进/干进) 2. 氨水+双氧水+DIW,盐酸+双氧水+DIW,氢氟酸,盐酸,BOE 3. 快排清洗,溢流清洗 4. 旋干机 5. 下货区(干出)
6. 選項：	空气清净过滤装置超音波,Megasonic 清洗在线石英加热器循环过滤装置化学药液缓冲槽及加药补药装置实时录像装置 SECS/GEM