湿式蚀刻制程设备
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6” WAFERx2cassette /8”x1 cassette 复槽式手动传输WET BENCH

1. 氨水+双氧水+DIW,盐酸+双氧水+DIW,氢氟酸,盐酸,硫酸+双氧水,BOE 槽
2. 快排清洗,溢流清洗
3. 旋干机
4. 选项: 抖动装置
晶元转动装置
空气清净过滤装置
超音波清洗功能
在线石英加热器
循环过滤功能
化学药液缓冲储槽及加药补药装置