濕式蝕刻製程設備
PRODUCTS INFORMATION

晶片制程機台:SC1, SC2, BOE, SPM

1. 氨水+雙氧水+DIW,鹽酸+雙氧水+DIW,氫氟酸+鹽酸,硫酸+雙氧水,BOE槽
2. 快排清洗,溢流清洗
3. 選項: 旋乾機
抖動裝置
晶圓轉動裝置
空氣清淨過濾裝置
超音波清洗裝置
線上石英加熱器
槽內石英加熱器
循環過濾裝置
化學藥液緩衝槽及加藥補藥裝置
SECS/GEM