湿式蚀刻制程设备
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芯片制程机台:SC1, SC2, BOE, SPM

1. 氨水+双氧水+DIW,盐酸+双氧水+DIW,氢氟酸+盐酸,硫酸+双氧水,BOE槽
2. 快排清洗,溢流清洗
3. 选项: 旋干机
抖动装置
晶圆转动装置
空气清净过滤装置
超音波清洗装置
在线石英加热器
槽内石英加热器
循环过滤装置
化学药液缓冲槽及加药补药装置
SECS/GEM