晶片制程機台:SC1, SC2, BOE, SPM

濕式蝕刻製程設備

PRODUCTS INFORMATION

1. 氨水+雙氧水+DIW,鹽酸+雙氧水+DIW,氫氟酸+鹽酸,硫酸+雙氧水,BOE槽 2. 快排清洗,溢流清洗
3. 選項：	旋乾機抖動裝置晶圓轉動裝置空氣清淨過濾裝置超音波清洗裝置線上石英加熱器槽內石英加熱器循環過濾裝置化學藥液緩衝槽及加藥補藥裝置 SECS/GEM