光罩清洗機
PRODUCTS INFORMATION

光罩清洗機

1. 光罩尺寸:7"x7", 9"x9", 14"x14"
2. 清洗方式:化學液滴洗(離心力)+高壓純水掃洗
3. 使用藥液:雙氧水+硫酸,介面活性劑+氨水混合,丙酮(IPA)
4. 輔助清洗方式:Megasonic cleaning
5. 高壓噴洗:200psi ~ 1500psi
6. 乾燥方式:離心力旋乾+氮氣噴俎
7. 靜電消除:靜電消除器