光罩清洗机
PRODUCTS INFORMATION

光罩清洗机

1. 光罩尺寸:7"x7", 9"x9", 14"x14"
2. 清洗方式:化学液滴洗(离心力)+高压纯水扫洗
3. 使用药液:双氧水+硫酸,界面活性剂+氨水混合,丙酮(IPA)
4. 辅助清洗方式:Megasonic cleaning
5. 高压喷洗:200psi ~ 1500psi
6. 干燥方式:离心力旋干+氮气喷俎
7. 静电消除:静电消除器